刘益芳副教授
  研究方向：微加工工艺、微系统封装、微传感器和微执行器的设计和控制、微弱信号检测等
  系别：仪器与电气系
  联系电话：18950032770
  电子邮箱：yfliu@xmu.edu.cn
  刘益芳：女，工学博士、厦门大学航空航天学院助理教授，1999年、2002年分别于东南大学仪器科学与工程系精密仪器及机械专业获得学士学位和硕士学位，2010年毕业于厦门大学机电工程系测试计量技术及仪器专业，获博士学位。发表20多篇SCI、EI收录的学术研究论文，其中第一作者、通讯作者13篇，申请专利30几项(授权24项)。主要研究方向：微纳机电系统、微惯性传感器的测试和控制等。主持和参与了国家重大专项（0901工程）、国家自然科学基金、中航工业集团产学研专项项目、福建省自然科学基金和福建省科技计划多项项目。目前主持国家自然科学基金、航空科学基金和中央高校基本业务费科研项目各1项、大学生创新创业训练计划项目5项。
  发表论文
  [1] Liu Yifang, Chen Daner, Lin Liwei, Zheng Gaofeng, Zheng Jianyi, Wang Lingyun and Sun Daoheng. Glass frit bonding with  controlled width and height using a two-step wet silicon etching procedure, J. Micromech. Microeng. 26 (2016) 035018 (8pp).  (Doi:  10.1088/0960-1317/26/3/035018)(SCI3)
  [2]  Yifang Liu, Daner Chen, Zhan Zhan, Chenlei Li, Jianyi Zheng and Daoheng Sun*. Research on Glass Frit Deposition Based on the      Electrospray Process, Materials 2016, 9, 292.(SCI2)
  [3] 刘益芳*，王凌云，孙道恒，郑建毅.玻璃浆料键合中的孔洞抑制和微复合调控, 光学精密工程， 24 (4)，2016,780-787.
  [4] Xiaohui Du, Yifang Liu, Anlin Li, Zhou Zhou, Daoheng Sun and Lingyun Wang. Laterally Driven Resonant Pressure Sensor with Etched       Silicon Dual Diaphragms and Combined Beams, Sensors 2016, 16, 158.( Doi:10.3390/s16020158)
  [5] Gaofeng Zheng, Lingling Sun, Xiang Wang, Jin Wei, Lei Xu , Yifang Liu, Jianyi Zheng, Juan Liu. Electrohydrodynamic direct-writing      microfiber patterns under stretching, Appl. Phys. A (2016) 122:112.  (DOI: 10.1007/s00339-015-9584-3)
  [6] Y. F. Liu, D. H. Sun, L. Y. Wang, D.Z.Wu, J.Y. Zheng, H. Wang. The Prediction of Micro/Nano Voids in Glass Frit Ring by Simulation,  Proceedings of The Fifth Asia International Symposium on Mechatronics(AISM 2015), 8-14,10,2015, Guilin, 619-622.
  [7] Lingyun Wang, Ruhai Zhou , Yifang Liu, Cheng Zheng, Jianfa Cai,Yong He. Simulation and typical application of multi-step diffusion  method for MEMS device layers, Key Engineering Materials Vols. 645-646 (2015) pp 341-346. （EI）
  [8] 刘益芳*，吴德志，郑高峰，杜晓辉，孙道恒.微隧道式加速度计的最优控制，光学精密工程，21（6），1561-1567，2013. EI (20132816483931)
  [9] Wu, De-Zhi; Huang, Xiang-Yu; Wang, Ling-Yun; Sun, Dao-Heng; Liu, Yi-Fang*. Construction and analysis of probe array induced 3D  electrospun nanofiber structure, Nami Jishu yu Jingmi Gongcheng/Nanotechnology and Precision Engineering, 10(5), 2012, 390-394.
  [10] 刘益芳，王凌云，孙道恒，吴德志.微隧穿式陀螺仪检测模态的线性二次高斯控制，光学精密工程，2012，20（10）, 2214-2221. EI (20124715699924).[11] Liu Yifang ，Wang Lingyun, Wu Dezhi ,Sun Daoheng .Emulated Analysis of the Preview-LQG Controller for Micromachined Tunneling    Gyroscope，Key Engineering Materials, 2012, 503: 318-323. EI (20120914820949)
  [12] 刘益芳，王凌云，孙道恒.微机械隧道陀螺仪的时变LQG预测控制, 光学精密工程，2011, 19(11): 2657-2663. EI (20115114614481)
  [13] Lingyun Wang, Yuanzhe Su, Yi Lei, Wenwang Li, Yifang Liu and Daoheng Sun*. A Novel Bulk Micromachined Tunneling Gyroscope,  Proceedings of the 2011 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, February 20-23, 2011,  Kaohsiung, Taiwan, 873-876.
  [14] Yifang Liu, Lingyun Wang and Daoheng Sun. The LQG Controller Design for Micromachined Tunneling Gyroscope, 2010 5th IEEE  International Conference on Nano/Micro  Engineered and Molecular Systems, January 20-23, 2010, Xiamen, 344-347，EI(20104813421401).
  [15] Liu Yifang, Sun Daoheng, Wang Mingliang, Lv Wenlong. Ni-electroplating of double-width micro-cantilever. Proceedings of SPIE - The  International Society for Optical Engineering, v 6109, 2006. EI(2006189853038)
  [16] Liu Yifang, Wang Lingyun and Sun Daoheng. Fabrication of Nano-tips Employing Three Different Methods. International Technology and  Innovation Conference 2006 — Advanced Manufacturing Technologies, November 6-7, 2006, Hangzhou, China. EI (072610669330)
  [17] 刘益芳,吕文龙, 孙道恒.变截面梁的微电镀研究[J].中国机械工程,2005.7,16(增刊): 404-406. EI (2005349313055).
  [18] 刘益芳,崔宏巍,吕文龙, 孙道恒, 杨防祖. 利用微电铸制作镍悬臂梁[J].厦门 大学学报（自然科学版）,2005,44(5):658-660.
  [19] 王凌云，刘益芳，孙道恒。振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺，第九届中国微米纳米技术学会国内年会，2007年9月20-22，中国上海。EI收录
  [20] 王凌云，刘益芳，孙道恒。扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究。厦门大学学报自然科学版，2006，45（3）：355~358。
  [21] Wang Lingyun, Liu Yifang and Sun Daoheng. A Systematic Study of RIE for Silicon Tips. International Technology and Innovation  Conference 2006 — Advanced Manufacturing Technologies, November 6-7, 2006, Hangzhou,China. EI (072610669337).
  [22] Wang Lingyun, Su Yuanzhe, Lei Yi, Li Wenwang, Liu Yifang, Sun Daoheng. A novel bulk micromachined tunneling gyroscope, NEMS 2011-6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,873-876. EI(20114014394882)
  n  专利
  1. 刘益芳；杜晓辉；于盟；罗小健. 一种可实现键合间隙精确可控的MEMS封装结构及封装
  方法[P]，授权日：2015.06.17.专利号：ZL 2014 1 0067978.X.
  2.刘益芳;黄少华;孙道恒;吴德志;邱小椿;陈燕君. 连续的纤维制造装置[P],授权日：2015.03.11.专利号：ZL 2013 1 0074095.7.
  3.孙道恒,何杰,占瞻,杜晓辉,邱小椿,李益盼,刘益芳,王凌云. 一种应用于微机电系统器件的真空封装方法[P]，授权日：2015.10.14。专利号：ZL 2013 1     0197201.0
  4.孙道恒，吕文龙，王凌云，刘益芳，吴德志. 硅金键合装方法[P]， 授权日：2009.07.15. 专利号：ZL 2006 1 0135263.9
  5.孙道恒，王明亮，李文望，刘益芳，郑剑铭. 悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构[P]，授权日：2009.10.21。 专利号：ZL 2003 1 0124163.2
  6.王凌云，孙道恒，杜江，吴德志，吕文龙，刘益芳. 可起停控制的电纺直写喷头[P]， 授权日：2012.05.30。 专利号：ZL 2010 1 0611543.9
  7.吴德志，胡兴旺，黄翔宇，郑高峰，王凌云，刘益芳，孙道恒. 一种近场静电喷印头[P]，授权日：2014.03.26.专利号：ZL 2011 1 0326279.9
  8.刘益芳，曹新城，王敷阳. 握压式打泡器[P], 授权日：2015.02.25. 专利号：ZL 2014 2 0364308.X.
  9.刘益芳，蔡建雄. 智能温控电扇[P], 授权日：2015.08.19. 专利号：ZL 201520139823.2.
  10. 肖春晟，李毅勇，李飞，刘益芳．自动盖章机[P]，授权日：2015.10.07. 专利号：ZL2015 2 0200256.7
  11. 蔡建雄,王圳彬,姚志强,刘益芳.一种机械锁智能化装置[P], 授权日：2015.10.14. 专利号： ZL2015 2 0230490.4
  12. 肖春晟 ，李毅勇， 李飞， 刘益芳. 一种粘贴贴纸的辅助工具[P], 授权日：2015.10.28. 专利号：ZL 201520175922.6
  13. 刘益芳,蔡建雄, 忻枕梁,周如海,王凌云,吴德志,孙道恒.一种丝网印刷对准系统[P]，授权日：2015.11.11. 专利号：ZL 201520104928.4
  14.刘益芳，唐传龙，吴佳静，秦嘉逸，周长城. 一种家用豆浆机的隔声罩[P]，授权日：2014.06.16. 专利号：ZL 2014 2 0318976.9.
  15.刘益芳，占瞻，王凌云.一种微陀螺仪测试转台[P]，授权日：2014.10.29。专利号：ZL 2014 2 0202703.8
  16.刘益芳，黄坤鸿，李雨坤，吴鹏毅.一种脚踏发电装置[P]，授权日：2014.10.29。专利号：ZL 2014 2 0162745.3
  17.刘益芳,陈梦月，梁楚尉，康昌霖.贴片式无线传输电子运动采集装置[P]，授权日：2014.04.09.专利号：ZL 2013 2 0668356.3.
  18.刘益芳，王敷阳，曹新城，林婷，吴成彬，余建晔.自发电光控节日灯[P]，授权日：2014.03.19。专利号：ZL 2013 2 0646362.9.
  19.刘益芳，王敷阳，阮淑燕，林婷，蒲星.触控洗尘多功能黑板擦[P]，授权日：2014.07.09。专利号：ZL 2014 2 0070940.3。
  20.刘益芳，王敷阳，曹新城，林婷，吴成彬，余建晔. 双向旋转折叠课桌[P]，授权日：2014-07-09。专利号：ZL 2014 200071051.9.
  21.刘益芳，蒲星，叶少锋，闵晓晴，赵劲. 卷筒纸巾盒[P]，授权日：2014.07.09。专利号：Zl 2014 2 0065812.X。
  22.吴德志,黄少华，肖志明，郑高峰，陈艺慧，刘益芳，孙道恒. 一种微细射流电极电火花加工装置[P]，授权日：2014.03.26. 专利号：ZL 2014 2  0229983.1
  23.吴德志,肖志明,黄少华,刘益芳,孙道恒,林立伟. 射流定点诱发的电纺装置[P], 授权日：2015/3/25. 专利号： ZL2014 1 0628676.5.
  24.郑高峰 ,王伟,卫瑾,刘海燕,徐兵,周如海,刘益芳,刘利勋,孙道恒. 一种熔融静电纺丝喷头装置[P]，授权日：2013.12.25. 专利号：ZL 2013 2  0451959.8
  承担项目
  1. 国家自然科学基金：玻璃浆料键合的复合调控机制研究（61404111），2015.1-2017.12；主持；
  2. 航空科学基金：硅-硅玻璃浆料键合工艺研究（20130868002），2013.10-2015.12；主持；
  3. 国家自然科学基金：基于电纺纳米纤维基膜的IPMC高效俘能机制与调控，2016.1-2018.12；排名第二；
  4. 国家自然科学基金：蘸取预制泰勒锥的纳米纤维高产电纺制造基础研究，2013.1-2015.12；排名第三；
  5. 航空科学基金：硅-玻璃键合片单晶硅层研抛减薄工艺研究（20110868001），2011.9-2013.10，排名第四；
  6. 中航工业产学研专项项目：谐振式****技术研究（保密项目cxy2011XD25），2012.1-2014.12，排名第四；
  7. 中航工业产学研专项项目：高性能****关键技术研究（保密项目cxy2013XD31），2013.1-2015.12，排名第四；
  8. 国家重大专项（0901工程）：****的研制（涉密项目），主持；
  9. 企业依托项目：微机械振动硅微陀螺的研制，主持；
  10. 企业依托项目：****的关键技术研究（涉密项目），主持；
  11. 国家自然科学基金面上项目：可控近场静电纺丝技术（50675184），参与完成；
  12. 福建省科技计划重点项目：微机械隧道陀螺仪及其产业化研究（2002H022），参与完成。